分子篩對空氣中的氧和氮的分離作用主要是基于這兩種氣體在碳分子篩表面上的擴散速率不同。直徑較小的氣體分子（O2）擴散速率較快，較多的進入分子篩微孔。直徑較大的氣體分子（N2）擴散速率較慢，進入分子篩微孔較少，這樣在氣相中可以得到氮的富集成分。
因此，利用分子篩對氧和氮在某一時間內(nèi)吸附量的差別這一特性，由全自動控制系統(tǒng)按特定可編程序施以加壓吸附，常壓解析的循環(huán)過程，完成氮氧分離，獲得所需高純度氮氣。
質(zhì)譜用氮氣發(fā)生器對色譜的影響有一點常常被忽略，就是發(fā)生器內(nèi)的開關(guān)電源工作會對電網(wǎng)電壓造成一定的干擾（壓縮機的啟動和停止也會），所以色譜儀必須經(jīng)過穩(wěn)壓電源供電，當(dāng)然不用穩(wěn)壓電源的用戶極少。
值得提醒的一點是：氮氣發(fā)生器只能在實驗室內(nèi)或?qū)嶒炇彝夂芙奈恢貌杉諝庾鳛闅庠矗鴮嶒炇覂?nèi)空氣經(jīng)常是受到污染的，其中的有機溶劑含量因為實驗前處理過程等原因（此外GC的洗針溶劑揮發(fā)，液相的流動相揮發(fā)）不可避免的超標(biāo)。
質(zhì)譜用氮氣發(fā)生器與傳統(tǒng)制氮法相比，它具有工藝流程簡單、自動化程度高、產(chǎn)氣快（15～30分鐘）、能耗低。產(chǎn)品純度可在較大范圍內(nèi)根據(jù)用戶需要進行調(diào)節(jié)，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應(yīng)性較強等特點。
